透明气体障蔽膜、透明气体障蔽膜之制造方法、有机ＥＬ元件、太阳电池及薄膜电池（一）

摘要

明提供一种气体障蔽性优异且透明气体障蔽层之内部应力非常低之透明气体障蔽膜及其制造方法。

主权项

一种透明气体障蔽膜，系于树脂基板上形成有透明气体障蔽层者，其特征在于：前述透明气体障蔽层含有选自于由金属及类金属所构成群组中之至少1种物质；前述透明气体障蔽层具有复数层密度于厚度方向连续且周期地起变化之层；且从高密度往低密度变化之层与从低密度往高密度变化之层系交错地设置。