发明名称 |
感光性树脂组成物、使用其之感光性元件、光阻图型之形成方法及印刷线路板之制造方法 |
摘要 |
明系有关感光性树脂组成物,其系含有:黏结剂聚合物;具有乙烯性不饱和键之光聚合性化合物;及选自由具有下述式(1)、(2)或(3)表示之结构之化合物所成群之至少1种的吡嗪化合物。
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申请公布号 |
TWI530755 |
申请公布日期 |
2016.04.21 |
申请号 |
TW099113494 |
申请日期 |
2010.04.28 |
申请人 |
日立化成股份有限公司;上海交通大学 |
发明人 |
宫坂昌宏;锻治诚;印杰;姜学松;孙利达 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/033(2006.01);C07D241/42(2006.01);H01L21/027(2006.01);H05K3/06(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
主权项 |
一种感光性树脂组成物,其系含有:黏结剂聚合物;具有乙烯性不饱和键之光聚合性化合物;及选自由具有下述式(1)、(2)或(3)表示之结构之化合物构成群之至少1种的吡嗪化合物,并且,前述黏结剂聚合物含有(甲基)丙烯酸与苯乙烯或者(甲基)丙烯酸与苯乙烯衍生物作为共聚合成分,
[式(1)中,R1、R2、R3、及R4系各自独立表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环基之1价有机基,R1与R2、或R3与R4系可互相结合而与吡嗪骨架之2个碳原子一同形成环]
[式(2)中,R5、R6、R7、及R8系各自独立表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环基之1价有机基,R5与R6、或R7与R8系可互相结合而与吡嗪骨架之2个碳原子一同形成环,X及Y系各自独立表示构成与吡嗪骨架之2个碳一同形成之单环结构或缩合多环结构之芳香族环的原子群]
[式(3)中,R9、R10、R11、及R12系各自独立表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环基之1价有机基,R9与R10、或R11与R12系可互相结合而与吡嗪骨架之2个碳原子一同形成环,Z系表示构成与吡嗪骨架之4个碳一同形成之单环结构或缩合多环结构之芳香族环或杂环的原子群]。
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地址 |
日本;中国 |