流体冲击基板之装置及方法

摘要

明揭示用于将例如加热流体的流体冲击至基板之表面上且接着局部地移除该冲击流体之装置及方法。该装置可包含彼此成发散关系之至少第一流体递送出口及第二流体递送出口。该装置可包含分别相对于该第一流体递送出口及该第二流体递送出口局部地定位之至少第一流体捕获入口及第二流体捕获入口。该装置及方法可用以，例如，将流体冲击至两个会聚基板上，且可用以加热该等基板之表面以便促进将该等基板彼此熔融接合。

主权项

一种用于将流体冲击至至少一第一移动基板之一第一主表面及一第二移动基板之一第一主表面且局部移除该冲击流体之装置，其包含：至少一第一流体递送出口；至少一第一流体捕获入口，其相对于该第一流体递送出口局部地定位；至少一第二流体递送出口；至少一第二流体捕获入口，其相对于该第二流体递送出口局部地定位；且其中该至少一第一流体递送出口与该至少一第二流体递送出口成发散关系。