发明名称 |
侦测物质的方法及其系统 |
摘要 |
明提供物质的侦测方法及系统,侦测一样本中所包含之物质的方法包括提供一试剂,以与该物质反应形成一螯合物,以及对该物质加压,提高浓度,并以重复加压解压方式,以累积该螯合物。
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申请公布号 |
TWI530682 |
申请公布日期 |
2016.04.21 |
申请号 |
TW101140708 |
申请日期 |
2012.11.02 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
郭启文;洪煜堃;庄子寿 |
分类号 |
G01N31/00(2006.01);G01N33/00(2006.01) |
主分类号 |
G01N31/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文;冯博生 |
主权项 |
一种侦测一待侦测气体样本中所包含之一物质的方法,包括下列步骤:提供一试剂置于一腔室中;将来自一无尘室的该待侦测气体样本提供至该腔室,该待侦测气体样本与该无尘室环境隔离,使得该物质与该试剂反应而形成一螯合物;以及藉由一帮浦加压,以提高该物质与该螯合物的浓度,其中,该物质包含分子酸、分子硷、分子可凝物、及分子掺杂物,该试剂系一变色酸,使该待侦测气体样本与该变色酸反应以形成该螯合物。
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |