发明名称 侦测物质的方法及其系统
摘要 明提供物质的侦测方法及系统,侦测一样本中所包含之物质的方法包括提供一试剂,以与该物质反应形成一螯合物,以及对该物质加压,提高浓度,并以重复加压解压方式,以累积该螯合物。
申请公布号 TWI530682 申请公布日期 2016.04.21
申请号 TW101140708 申请日期 2012.11.02
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 郭启文;洪煜堃;庄子寿
分类号 G01N31/00(2006.01);G01N33/00(2006.01) 主分类号 G01N31/00(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文;冯博生
主权项 一种侦测一待侦测气体样本中所包含之一物质的方法,包括下列步骤:提供一试剂置于一腔室中;将来自一无尘室的该待侦测气体样本提供至该腔室,该待侦测气体样本与该无尘室环境隔离,使得该物质与该试剂反应而形成一螯合物;以及藉由一帮浦加压,以提高该物质与该螯合物的浓度,其中,该物质包含分子酸、分子硷、分子可凝物、及分子掺杂物,该试剂系一变色酸,使该待侦测气体样本与该变色酸反应以形成该螯合物。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号