| 摘要 |
Eine Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) zum Halten eines Endblocks (104) an einer Prozesskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein erstes Sockelelement (312) mit einer ersten Befestigungsanordnung (110) zum Befestigen des ersten Sockelelements (312) an einer Prozesskammerwand und mit einer zweiten Befestigungsanordnung (102a); und ein zweites Sockelelement (322) mit einer ersten Befestigungsanordnung (102b), zum Befestigen des zweiten Sockelelements (322) an dem ersten Sockelelement (322) und mit einer zweiten Befestigungsanordnung (120) zum Befestigen eines Endblocks (104) an dem zweiten Sockelelement (322); wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die erste Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sein können, dass das zweite Sockelelement (322) relativ zu dem ersten Sockelelement (312) auslenkbar sein kann. |
