多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备

摘要

多阳极控制装置，搭配电性连接于基板一边的阴极连接件使用。多阳极控制装置包括：一阳极模组，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数阳极网；以及分别电性连接于各阳极网的一供电控制模组，用以对各阳极网分别供电并分别产生所需的电流密度。藉此，以使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所获得的阴极电彼此互补。

主权项

【第1项】 一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，该多阳极控制装置包括：一阳极模组，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数阳极网；以及一供电控制模组，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模组对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。