| 发明名称 | 有机无机复合薄膜与其形成方法 | ||
| 摘要 | 明提供有机无机复合薄膜的形成方法，包括：共溅镀无机物靶材以及含氟有机高分子靶材，使无机物靶材之原子与含氟有机高分子靶材之原子同时沉积于基材上，以形成有机无机复合薄膜。上述有机无机复合薄膜，包括：碳、氟、氧及/或氮、与M组成之匀相非晶无孔材料，其中M包括矽、钛、铝、铬、或上述之组合。 | ||
| 申请公布号 | TWI530574 | 申请公布日期 | 2016.04.21 |
| 申请号 | TW102130532 | 申请日期 | 2013.08.27 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 周力行;梁志豪;施希弦;杨智超;潘益宗 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | C23C14/06(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
| 主权项 | 一种有机无机复合薄膜，包括：碳、氟、氧及/或氮、与M组成之匀相非晶无孔材料，其中M为矽、钛、铬、或上述之组合。 | ||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||