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一种薄膜型压电材料之电性量测方法，系将一输入讯号转换为震动位能，此震动位能作用于待测薄膜型压电材料上，该待测薄膜型压电材料因正电压效应产生电压变化，最后将该电压变化之数据与一标准薄膜型压电材料试片之电压变化的数据相互比较，以判读且得知待测薄膜型压电材料的电性数据；其中，在将该电压变化之数据与一标准薄膜型压电材料试片之电压变化的数据相互比较，以判读且得知待测薄膜型压电材料的电性数据的步骤中，是先令该待测薄膜型压电材料因正电压效应产生的电压变化通过一开关回路而得到第一电压变化之数据，该第一电压变化之数据传送到一电性资讯判断单元，再令该待测薄膜型压电材料因正电压效应产生的电压变化通过一电容回路得到第二电压变化之数据，该第二电压变化之数据同样传送到该电性资讯判断单元，将该第一、第二电压变化之数据代入运算式与标准薄膜型压电材料试片比较，以判读得到该待测薄膜型压电材料之电性数据；该运算式：for quartz with C，V1c=t1×V1 without C，V2c=t2×V2 for film
with C，V1'=×V1' without C，V2'=×V2'
其中，V1c、V2c为已知压电材料电性数据，V1'、V2'为待测压电材料电性数据，t1、t2、、则对应不同响应所测量到的时间，然而因为来源脉冲是相同的，所以这4个时间会相等，是扣掉电容影响后的压电系数，为已知之二氧化矽薄膜型压电材料的压电系数。
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