研磨装置

摘要

确判定研磨终点。
本发明之研磨装置具备：研磨台12、旋转驱动研磨台之第一电动马达14、可与研磨台一起保持被加工物之上方环形转盘20、及旋转驱动上方环形转盘之第二电动马达22；藉由第一电动马达使研磨台旋转，并且藉由第二电动马达使上方环形转盘旋转，在藉由研磨台与上方环形转盘夹着之状态下研磨被加工物，可将被加工物之表面平坦化，第一及第二电动马达中之至少一方电动马达具备复数相之线圈，研磨装置具备：加权部，其系进行对各相之电流比率赋予差异的加权；及检测部，其系藉由探测藉由加权部增大设定加权值之相的电流变化，来检测藉由研磨产生之前述电动马达的转矩变动。

主权项

一种研磨装置，系用于将被加工物之表面平坦化，其特征为具备：研磨台；第一电动马达，其系旋转驱动该研磨台；基板保持部，其系可保持前述被加工物；及第二电动马达，其系旋转驱动该基板保持部；前述第一及第二电动马达中之至少一方电动马达具备复数相之线圈，前述研磨装置具备：电流检测部，其系检测前述复数相之线圈中至少二个电流；合成电流生成部，其系依据藉由前述电流检测部检测出之前述复数相之线圈中至少二个电流，生成合成电流；及转矩变动检测部，其系依据藉由前述合成电流生成部所生成之合成电流的变化，检测藉由前述被加工物之研磨而产生之前述第一及第二电动马达中前述至少一方电动马达的转矩变动。