大口径离轴抛物面反射镜的制备方法

摘要

一种大口径离轴抛物面反射镜的制备方法，包括：根据所要制备的大口径离轴抛物面反射镜的大小划分成若干个相同大小的子孔径抛物面镜；根据所要制备的大口径离轴抛物面反射镜的特征参数及划分的子孔径抛物面镜的个数，得到子孔径抛物面镜的参数；在所有的子孔径抛物面镜的反射面上镀光学薄膜；把镀膜后的子孔径抛物面镜拼接为大口径离轴抛物面反射镜；放置在干涉系统中，调整各子孔径抛物面镜的位置，直至出现干涉条纹为止；通过检测各个子孔径抛物面镜的像面与大口径离轴抛物面反射镜的理想像面的相位差，调整各个子孔径抛物面镜的位置，直至相位差趋于零为止。本发明采用透镜拼接的方法，有效降低成本，制备高精度的大口径的离轴抛物面反射镜。

主权项

一种大口径离轴抛物面反射镜的制备方法，其特征包括如下步骤：步骤1，根据所要制备的大口径离轴抛物面反射镜的大小划分成若干个相同大小的子孔径抛物面镜；步骤2，根据所要制备的大口径离轴抛物面反射镜的特征参数及划分的子孔径抛物面镜的个数，得到子孔径抛物面镜的参数；步骤3，在所有的子孔径抛物面镜的反射面上镀高反射率金属膜或镀由不同折射率介电材料组成的多层介质高反射率光学薄膜；步骤4，把镀膜后的子孔径抛物面镜拼接为大口径离轴抛物面反射镜；步骤5，将拼接后的大口径离轴抛物面反射镜放置在干涉系统中，调整各子孔径抛物面镜的位置，直至出现干涉条纹为止；步骤6，通过检测各个子孔径抛物面镜的像面与大口径离轴抛物面反射镜的理想像面的相位差，进一步调整各个子孔径抛物面镜的位置，直至相位差趋于零为止。