一种多晶硅铸锭用坩埚

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭用坩埚，具有呈平面的底面和与底面垂直的侧壁；此外，所述坩埚内的底面上、与侧壁结合的边沿处为呈周向设置的凹槽，所述凹槽其截面形状为连贯弧形。本实用新型采用上述弧形凹槽，利用硅液重力及惯性作用，在凹槽的引导下使硅液向高处冲击而进入到坩埚的内部，从而起到自搅拌作用，有助于减少水平方向上的温度梯度，从而获得尺寸均匀细小的晶粒，有效提高了多晶硅锭的产品质量。

主权项

一种多晶硅铸锭用坩埚，具有呈平面的底面(1)和与底面(1)垂直的侧壁(2)；其特征在于：所述坩埚内的底面(1)上、与侧壁(2)结合的边沿处为呈周向设置的凹槽(3)，所述凹槽(3)其截面形状为连贯弧形。