晶圆输送机构及使用方法

摘要

晶圆输送机构及使用方法，是基于对现有技术进行的一种改进。为了将原有的手动操作过程改为自动操作，减少人工操作，故增加一个自动传片机构，即无论是晶圆的放置或是取出，以及晶圆中心的调整都是通过自动控制来实现的。晶圆输送机构是在一滑台上安装一传送桨，传送桨的前端放置一晶圆存放托盘，通过控制滑台的水平移动来实现晶圆的自动传片。使用方法：将传送桨前端的半圆弧凹槽内放置一可拆卸的晶圆存放托盘，二者通过两个圆柱销固定连接。本发明可以很好的实现晶圆在反应腔室内的自动取放，操作简捷，运行流畅，使用性能稳定，节省人力和物力，降低产品生产成本。

主权项

一种晶圆输送机构的使用方法，其特征在于：将传送桨前端的半圆弧凹槽内放置一可拆卸的晶圆存放托盘，二者通过两个圆柱销固定连接，晶圆存放托盘底部设有三个均匀分布的凹槽，凹槽的位置尺寸与传送桨上的两个固定销相吻合，大小相匹配，安装后以确保托盘与传送桨的同心度，防止托盘在升降过程中有倾斜或是偏移，通过滑台的水平移动，带动传送桨和晶圆存放托盘一起移动，传片时，将晶圆放置到存放托盘上，调整晶圆对中，启动加热盘，升降到预定的位置，同时，关上传片腔盖板，启动滑台，随着滑台移动，传送桨将带晶圆的托盘送至反应腔内加热盘的正上方位置，此时，启动加热盘，继续上移，直至加热盘将托盘从传送桨上顶起，并脱离传送桨上两圆柱销的控制范围，此时，加热盘停止运动，并控制滑台，带动无托盘的传送桨，将其从反应腔内撤出，关闭两腔体之间的隔离门，调整加热盘运行至工艺位置，开始进行工艺试验操作，工艺结束后，控制加热盘回到传片位置，打开隔离门，操纵滑台带动传送桨缓慢伸入到托盘的正下方，控制加热盘使其下降，直至加热盘上表面的晶圆存放托盘与传送桨完成对接并离开，即晶圆存放托盘在完全脱离加热盘的控制范围后，操纵滑台，使传送桨带动晶圆存放托盘连同晶圆一起离开反应腔室，进入到传片腔室，开启传片腔上盖板，取片，放片，这样整个传片过程完成。