| 摘要 |
스침-입사 간섭계는 사이에 통상의 평면 대상이 있는 공간 이격된 제1 및 제2회절 광학소자를 포함한다. 제1회절 광학 소자는 스침-입사각으로 대상의 대향하는 제1 및 제2표면으로부터 반사되는 전단된 1차 회절 광 빔을 형성하고, 반면 0차 회절 광 빔은 반사되지 않는다. 제2회절 광학소자는 시준된 결합 광 빔을 형성하기 위해 비반사의 0차 회절 광 빔과 전단된 반사 광 빔을 결합한다. 1X 더블-텔레센트릭 릴레이 시스템은 이미지 평면에 위치된 확산 스크린 상에 제1 및 제2간섭 이미지를 형성하는 폴딩 광학 시스템에 결합된 광 빔을 릴레이한다. 제1 및 제2간섭 이미지의 디지털 이미지가 얻어지고 대상의 두께 변화를 특징화하도록 처리된다. |
