发明名称 Cavity resonator of microwave plasma generating apparatus
摘要 구형 단면을 가지는 측벽(2)과, 측벽의 상단 개구 및 하단 개구를 각각 닫는 상벽(3) 및 하벽(4)으로 구성되고, 내부에 공동(5)을 가지는 도체제의 공진기 본체(1)를 구비한다. 측벽에는 마이크로파 공급구(6)가 설치되고, 마이크로파 공급구에 유도성 창(13)을 통해서 도파관(7)이 접속된다. 상벽 및 하벽에는 각각 반응관 장착구(3a, 4a)가 설치된다. 반응관 장착구에 반응관(8)이 장착되어, 공동을 상하로 관통하는 동시에, 도파관의 축과 교차해서 연장된다. 공동 내의 측벽 내면 및 반응관으로부터 간격을 둔 위치에, 비자성 금속제 메쉬로 형성된 사각기둥체(10a∼10c)가 공진기 본체(1)와 동축에, 또한 네스티드 형상으로 배치된다.
申请公布号 KR101614028(B1) 申请公布日期 2016.04.20
申请号 KR20147027318 申请日期 2013.05.27
申请人 가부시키가이샤 아도테쿠 프라즈마 테쿠노로지 发明人 후지이 슈이치;오이 카츠미
分类号 H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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