| 发明名称 | 一种用于晶圆烘烤的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于晶圆烘烤的装置，涉及半导体制造设备技术领域，包括烤箱，还包括延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机，所述烤箱内安装有温度传感器，所述温度传感器与温度监测仪相连，所述烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连，所述温度监测仪通过总线与计算机相连，所述报警器与温度监测仪相连。本实用新型用于晶圆烘烤的装置，烤箱内设置多个温度传感器，温度传感器与温度监测仪相连，可以实现多点温度超温自动报警；温度监测仪配合RS485总线或RS232总线接口，把温度数据导入计算机,通过计算机记录每次烘烤的温度曲线，方便以后产品异常的追朔。 | ||
| 申请公布号 | CN205177794U | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201520828788.5 | 申请日期 | 2015.10.22 |
| 申请人 | 安徽超元半导体有限公司 | 发明人 | 沈顺金 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人 | 任永武 |
| 主权项 | 一种用于晶圆烘烤的装置，包括烤箱，其特征在于：还包括延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机，所述烤箱内安装有温度传感器，所述温度传感器与温度监测仪相连，所述烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连，所述温度监测仪通过总线与计算机相连，所述报警器与温度监测仪相连。 | ||
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房 | ||