一种大视场投影物镜

摘要

本发明一种大视场投影物镜，其特征在于投影物镜光学系统沿物面依次包括：由第一凹面反射镜和第一凸面反射镜组成的第一折返光路，一前透镜组，一中间像面，一后透镜组，以及由第二凸面反射镜和第二凹面反射镜组成的第二折返光路。本发明实现了正1x放大倍率设计，满足了多个镜头成像视场的拼接需求。同时降低了对单个反射镜尺寸的需求，获得更大的曝光视场。

主权项

一种大视场投影物镜，投影物镜光学系统沿物面依次包括：由第一凹面反射镜和第一凸面反射镜组成的第一折返光路，一前透镜组，一中间像面，一后透镜组，以及由第二凸面反射镜和第二凹面反射镜组成的第二折返光路，所述前透镜组和后透镜组相对所述中间像面对称设置，其特征在于，所述前透镜组至少包含一个正透镜、一个负透镜，所述后透镜组至少包含一个正透镜、一个负透镜，通过改变所述前、后透镜组中正负透镜的间隔改变光学系统的放大倍率。