蒙版检测框架生成方法、装置、缺陷检测方法及装置

摘要

本发明具体涉及一种基于样本学的蒙版检测框架生成方法、装置、缺陷检测方法及装置。本发明中，对于每个待检测项目，根据该待检测项目的可区分特性设置若干个特征提取算子以及特征提取阈值，对于每个特征提取算子，提取出所有样本对该特征提取算子有响应的区域，根据样本统计分布滤除其中异常区域，形成初步蒙版检测框架，对初步蒙版检测框架进行反运算操作，得到最终蒙版检测框架。本发明能够从传统的规则形状的检测区域中更鲁棒地定义可用于检测的前景区域，同时去除了背景区域产生的干扰，提高了检测算法的精度；同时避免了检测方法中的人工设定区域方式带来的不稳定和高复杂度，减少了由于检测算法的改变而需要重新标定的重复性工作。

主权项

一种基于样本学习的蒙版检测框架生成方法，其特征在于，包括步骤：S1.特征提取：对于每个待检测项目，根据该待检测项目的可区分特性设置若干个特征提取算子以及特征提取阈值；S2.蒙版训练：对于每个特征提取算子，提取出所有样本对该特征提取算子有响应的区域，根据样本统计分布滤除其中异常区域，形成初步蒙版检测框架；S3.蒙版优化：对所述初步蒙版检测框架进行反运算操作，得到最终蒙版检测框架。