一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构

摘要

本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，包括相对布置的上部本体和下部本体，其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板，上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处，下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处，光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处，上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸，用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外，因为是小尺寸器件，所以可以使用MEMS工艺进行制作，可使此类传感器大大降低成本，同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性，从而达到批量生产的目的。

主权项

一种小尺寸NDIR 型气体传感器的光学结构，其特征在于：包括相对布置的上部本体（1）和下部本体（2），其上均设置反射凹槽（3）,两相邻反射凹槽（3）之间设置隔板（4），上部本体（1）的反射凹槽（3）的中心位置处对应下部本体（2）的隔板（4）位置处，下部本体（2）的反射凹槽（3）的中心位置处对应上部本体（1）的隔板（4）位置处，光源（7）、探测器（8）分别布置在上部本体（1）和下部本体（2）的边角处，上部本体（1）和下部本体（2）共同围成由光源（7）到探测器（8）的光学路径；所述上部本体（1）朝向下部本体（2）的一侧呈凹形，在该凹形内部沿横向自上而下布置平板（9），平板（9）和隔板（4）垂直交叉布置，反射凹槽（3）位于平板（9）和隔板（4）所围成的区域内，反射凹槽（3）的底面呈半圆状或抛物面状；上部本体（1）的左、右侧侧板内壁上均自上而下设置反射斜板（5），反射斜板（5）呈八字状布置，探测器（8）与光源（7）呈对角线分别布置在上部本体（1）的边角处，平板（9）、反射斜板（5）和隔板（4）共同围成由光源（7）到探测器（8）的光学路径。