发明名称 PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON IN CLOSED-LOOP PROCESSES AND SYSTEMS
摘要 Production of polycrystalline silicon in a substantially closed-loop process is disclosed. The processes generally include decomposition of trichlorosilane produced from metallurgical grade silicon.
申请公布号 EP2630081(B1) 申请公布日期 2016.04.20
申请号 EP20110761811 申请日期 2011.09.22
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 BHUSARAPU, SATISH;HUANG, YUE;GUPTA, PUNEET
分类号 C01B33/027;C01B33/03;C01B33/039 主分类号 C01B33/027
代理机构 代理人
主权项
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