磨削装置

摘要

本发明提供一种磨削装置。能够判断磨石上的缺口等破损，且能够均匀地维持板状工件的被磨削面的状态。本发明的磨削装置(1)具有：卡盘台(3)，其保持板状工件(W)；磨削单元(4)，其以能够旋转的方式安装呈环状配设了用于磨削板状工件的磨石(4d)的磨削轮(4f)；以及测定单元(5)，其测定该磨石的侧表面(4e)。测定单元具有：发光部(51)，其对磨石的侧表面照射测定光(B1)；图像传感器(52)，其接收从发光部照射的测定光被磨石的侧表面反射后的反射光(B2)；运算部(56)，其根据图像传感器检测到反射光的检出位置来运算从发光部到磨石的侧表面的距离；以及判断部(57)，其根据运算部运算出的距离的变化来判断磨石的破损。

主权项

一种磨削装置，其具有：卡盘台，其保持板状工件；磨削单元，其以能够旋转的方式安装呈环状配设了磨石的磨削轮，该磨石用于对该卡盘台保持的板状工件进行磨削；以及测定单元，其测定该磨石的侧表面，其特征在于，该测定单元具有：发光部，其对该磨石的侧表面照射测定光；图像传感器，其接收从该发光部照射的该测定光被磨石的侧表面反射后的反射光；运算部，其根据该图像传感器检测到该反射光的检出位置来运算从该发光部到该磨石的侧表面的距离；以及判断部，其根据该运算部运算出的该距离的变化来判断该磨石的破损。