| 摘要 |
본 발명은 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 서로 마주하는 한 쌍의 기판들; 상기 기판들 상에 각각 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 전극들; 규소 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물 및 바륨-티타늄 산화물 중 어느 하나의 재질을 포함하여 상기 전극들 사이에 배치되는 무기 절연막; 및 상기 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막의 사이에 배치되는 접착 부재를 포함하고, 상기 전극들에 전압이 인가됨에 따라 상기 무기 절연막 내의 분극 현상에 의해 상기 전극들 사이에 인력이 작용하여, 상기 접착 부재에 중첩하지 않은 상기 전극들의 부분이 상기 인력에 의해 휘어지는 것을 그 구성상의 특징으로 한다. 본 발명에서 제안하고 있는 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기에 따르면, 정전기력 기반 작동기가, 마주하는 전극들의 사이에 규소 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물 및 바륨-티타늄 산화물 중 어느 하나의 재질을 포함하는 무기 절연막을 포함하고, 상기 전극들에 소정의 전압이 인가되며, 상기 전압이 커짐에 따라 상기 무기 절연막 내의 분극 현상이 증가함으로써, 상기 전극들 사이의 인력이 증가하여 정전기력 기반 작동기의 기계적 변형 특징을 향상시킬 수 있다. |
