连续扫描型计测装置

摘要

本发明关于利用光的计测－检查装置。本发明的一实施方式的连续扫描型计测装置具备：连续扫描型的光应用计测器，进行计测对象物的表面形状计测；单轴的计测器扫描用台，搭载光应用计测器，沿着规定方向连续扫描；两个输送台，是分别拆装自如地载置计测对象物的两个输送台，能够相互独立地移动。两个输送台被分别独立地定位在光应用计测器的计测位置和计测对象物的更换位置的某一方，并且处于计测位置且载置有表面形状计测中的计测对象物的输送台在连续扫描中被固定；光应用计测器在一方的输送台被定位在更换位置、将计测结束的计测对象物和下个计测对象物更换的期间中，进行被定位在计测位置的另一方的输送台上的计测对象物的表面形状计测。

主权项

一种连续扫描型计测装置，包括用来进行计测对象物的表面形状计测的连续扫描型的光应用计测器，其特征在于，所述连续扫描型计测装置由以下部分构成：单轴的计测器扫描用台，搭载上述光应用计测器，沿着规定方向连续扫描；以及两个输送台，是分别拆装自如地载置计测对象物的两个输送台，能够相互独立地移动；上述两个输送台被分别独立地定位在上述光应用计测器的计测位置和计测对象物的更换位置的某一方，并且处于上述计测位置且载置有上述表面形状计测中的计测对象物的输送台在连续扫描中被固定；上述光应用计测器在一方的输送台被定位在上述更换位置、计测结束的计测对象物和下个计测对象物被更换的期间内，进行被定位在上述计测位置的另一方的输送台上的计测对象物的上述表面形状计测；上述计测器扫描用台如果在沿着上述规定方向的1次的连续扫描中上述光应用计测器能够计测的相对于上述规定方向的正交方向的计测宽度比计测对象物的上述正交方向的宽度小，则夹着规定的待机时间反复地执行由上述光应用计测器进行的沿着上述规定方向的连续扫描；上述两个输送台被定位在相互不同的计测位置，各个计测位置是相互沿着上述规定方向的位置，并且在上述规定方向上是上述光应用计测器的扫描范围内的位置；上述两个输送台中的载置有上述表面形状计测中的计测对象物的输送台在反复执行连续扫描的情况下，在连续扫描中被固定，而在上述规定的待机时间中，在上述正交方向上移动上述正交方向的上述计测宽度以下的宽度。