| 发明名称 | 光罩基底衬底收纳容器 | ||
| 摘要 | 本发明抑制对光阻图案产生的影响并且更确实地降低因在保管、搬送或容器操作的过程中所有可能产生的尘埃或粒子的附着引起的光罩基底的污染，提高光罩基底的质量及良率。本发明涉及一种光罩基底衬底收纳容器(1)，其收纳、搬送或保管光罩基底衬底(2)，且其构成零件中的至少1个包含以40℃保持60分钟下通过动态顶空法测定的己内酰胺量以正癸烷换算计每树脂单位重量成为0.01ppm以下的热塑性树脂，并且该构成零件的表面电阻值为1.0E+13欧姆以下。 | ||
| 申请公布号 | CN105518529A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201480049627.4 | 申请日期 | 2014.07.24 |
| 申请人 | 信越聚合物株式会社;信越化学工业株式会社 | 发明人 | 铃木勤;大堀伸一;小板桥龙二;中川秀夫;高坂卓郎;木下隆裕;福田洋 |
| 分类号 | G03F1/66(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 章蕾 |
| 主权项 | 一种光罩基底衬底收纳容器，其特征在于：其收纳、搬送或保管光罩基底衬底，且其构成零件中的至少1个包含以40℃保持60分钟下通过动态顶空法测定的释气中的己内酰胺量以正癸烷换算计每树脂单位重量成为0.01ppm以下的热塑性树脂，并且包含该热塑性树脂材料的构成零件的表面电阻值为1.0E+13欧姆以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||