| 摘要 |
고주파 대역에서의 사용에 적합한 구조이며, 정전 결합 노이즈의 영향을 받기 어려운 초음파 트랜스듀서를 실현한다. 초음파 트랜스듀서(1)는 진동자(11)와 금속 단자(5,6)를 포함하고 있다. 진동자(11)는 정합층(11A)과 압전 소자층(11B)을 포함하고 있다. 압전 소자층(11B)은 층수가 홀수인 전극층(11D1~11D5)과, 층수가 짝수인 압전체층(11C1~11C4)을 교대로 적층하여 이루어지고, 두께 진동한다. 배치순이 홀수번째인 전극층(11D1,11D3,11D5)은 금속 단자(5)를 통해 기준 전위에 접속된다. 배치순이 짝수번째인 전극층(11D2,11D4)은 금속 단자(6)를 통해 신호 전위에 접속된다. |
