发明名称 半導体装置及びその製造方法
摘要
申请公布号 JP5905752(B2) 申请公布日期 2016.04.20
申请号 JP20120060395 申请日期 2012.03.16
申请人 白土 猛英 发明人 白土 猛英
分类号 H01L21/8244;H01L27/10;H01L27/11 主分类号 H01L21/8244
代理机构 代理人
主权项
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