一种多结太阳能电池的集成旁路二极管的制备方法

摘要

本发明公开了一种多结太阳能电池的集成旁路二极管的制备方法，包括以下步骤：在衬底上形成多结太阳能电池外延结构；形成太阳能电池制作区域与旁路二极管制作区域之间的隔离槽；对旁路二极管制作区域的外延层进行特定能量的离子注入，使其多结子电池中的至少一个子电池pn结的掺杂情况被改变；对上述旁路二极管制作区域的外延层进行特定波长的强光照射，使其多结子电池中的至少一个子电池pn结受到高温退火处理；制备太阳能电池与旁路二极管的正面、背面电极与减反射膜；按照互联规则封装太阳能电池与旁路二极管。

主权项

一种多结太阳能电池的集成旁路二极管的制备方法，其步骤包括：1）在衬底上形成多结太阳能电池外延层结构；2）形成太阳能电池制作区域与旁路二极管制作区域之间的隔离槽；3）对旁路二极管制作区域的外延层进行离子注入，控制离子注入的深度，使其多结子电池中的至少一个子电池pn结的掺杂情况被改变；4）对上述旁路二极管制作区域的外延层进行特定波长的强光照射，使其多结子电池中的至少一个子电池pn结受到高温退火处理；5）制备太阳能电池与旁路二极管的正面、背面电极与减反射膜；6）按照互联规则封装太阳能电池与旁路二极管。