发明名称 |
伸缩籽晶杆 |
摘要 |
本发明伸缩籽晶杆,包括:籽晶杆套,籽晶杆套为中空设计;导向销,导向销设置在籽晶杆套内;籽晶杆,籽晶杆设置在籽晶杆套的内腔;籽晶杆的一端从下部与导向销连接;拉绳,拉绳设置在籽晶杆套的内腔;籽晶杆的一端从上部与导向销连接。在籽晶杆套内设有导向槽,导向槽沿着籽晶杆套的轴向设置。拉绳为钨绳。本发明将晶体生长行程和晶体出炉行程分开,为此设计的籽晶杆套,可使籽晶杆可以在中间上下运动,部分运动精度不是很高,这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时;籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时,相对静止成为一体,籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动,这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。 |
申请公布号 |
CN105506732A |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201410490282.8 |
申请日期 |
2014.09.23 |
申请人 |
上海朗兆机电设备有限公司 |
发明人 |
吕立强 |
分类号 |
C30B15/34(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/34(2006.01)I |
代理机构 |
上海顺华专利代理有限责任公司 31203 |
代理人 |
沈履君 |
主权项 |
伸缩籽晶杆,其特征在于,包括:籽晶杆套,所述籽晶杆套为中空设计;导向销,所述导向销设置在所述籽晶杆套内;籽晶杆,所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔;所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接;拉绳,所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔;所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。 |
地址 |
201415 上海市奉贤区航南公路7570号116室 |