一种石墨烯室温太赫兹波探测器及制备方法

摘要

本发明公开一种石墨烯室温太赫兹波探测器，所述探测器件包括蓝宝石衬底和其上蒸镀对数周期天线结构以及引线电极，且太赫兹波耦合对数周期天线两边分别与对应的引线电极相连，在对数周期天线间距中转移具有载流子浓度可调和高迁移率的石墨烯导电沟道，保证石墨烯与两边对数周期天线互连。本发明的优点在于：器件的太赫兹响应高，可实现宽频、高速、高灵敏度、高信噪的太赫兹波探测；器件的集成度和小型化好，为实现太赫兹探测器大规模应用奠定基础。

主权项

一种石墨烯太赫兹波探测器，包括石墨烯(1)、对数周期天线(2)、引线电极(3)、蓝宝石衬底(4)，其特征在于：所述太赫兹波探测器在蓝宝石衬底(4)上蒸镀对数周期天线(2)结构以及引线电极(3)，太赫兹波耦合对数周期天线(2)两边分别与对应的引线电极(3)相连，在对数周期天线(2)间距中转移具有载流子浓度10¹¹～10¹⁴cm^‑2可调和高迁移率1000～10000cm²V^‑1s^‑1的石墨烯(1)导电沟道，保证石墨烯(1)与两边对数周期天线2互连；所述的蓝宝石衬底(4)的厚度为0.5～1mm；所述的对数周期天线(2)的尺寸为：外半径1～2mm，厚度100～200nm；所述的引线电极3的厚度为200～400nm；所述的导电沟道长度为6～80um。