视觉误差校正方法

摘要

本发明提供了一种视觉误差校正方法，适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差。该方法包括：提供具有至少一对位点的对位图案；使对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，且预设图像点位于可视区域的预设位置上；使对位点位于工作区域的多个第二预设位置的其中之一上；调整振镜扫描模块的多个参数，以使对位图像点位于预设位置上；使对位图像点陆续地移动至可视区域的多个位置上；记录对位图像点在可视区域的位置、对位点在工作区域中的位置以及振镜扫描模块的参数，以制作对位表。

主权项

一种视觉误差校正方法，其特征在于，适于校正激光加工装置的多个视觉定位误差，而该视觉误差校正方法包括：(a)提供对位图案，该对位图案具有至少一对位点；(b)使该对位图案的预设点位于工作区域的第一预设位置上，该对位图案在图像感测单元的可视区域上形成对位图案图像，且该预设点在该可视区域上形成的预设图像点位于该可视区域的预设位置上，其中该工作区域具有多个第二预设位置；(c)使该对位图案的至少一该对位点位于其中一该第二预设位置上；(d)调整振镜扫描模块的多个参数，使该至少一该对位点在该可视区域上形成的对位图像点位于该可视区域的该预设位置上，且记录该振镜扫描模块的该些参数；以及(e)使该对位图像点陆续地相对移动至该可视区域的多个位置上，并分别记录该对位图像点在该可视区域的该些位置、该对位点在该工作区域中的位置以及该振镜扫描模块的该些参数，以制作该工作区域所属的对位表；其中，执行步骤(b)的方法包括：使该对位图案的该预设点位于该工作区域的该第一预设位置上；以及调整分光镜的角度参数，使该预设点在该可视区域上形成的该预设图像点位于该可视区域的该预设位置上。