发明名称 |
批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置 |
摘要 |
本发明涉及MEMS加速度传感器的振动试验技术,具体是一种批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置。本发明解决了现有振动台夹具导致振动试验耗时长、效率低的问题。批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置,包括执行部分和控制部分;所述执行部分包括振动台延伸头、底盘、回转夹紧气缸;所述控制部分包括压力传感器、模数转换器、PLC、上位机、电磁换向阀、调压阀、气源;其中,振动台延伸头为筒状结构;振动台延伸头的上端封闭、下端设有敞口;底盘盖封于振动台延伸头的下端敞口上;回转夹紧气缸的数目为若干个;各个回转夹紧气缸的缸筒均安装于底盘的上盘面。本发明适用于MEMS加速度传感器的振动试验。 |
申请公布号 |
CN104440696B |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201410750805.8 |
申请日期 |
2014.12.10 |
申请人 |
苏州中盛纳米科技有限公司 |
发明人 |
石云波;郭涛;唐军;马宗敏;丑修建;张斌珍;赵赟;于春华;邹坤;焦佳伟 |
分类号 |
B25B11/00(2006.01)I;G01P21/00(2006.01)I;G01M7/02(2006.01)I |
主分类号 |
B25B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 |
代理人 |
朱源 |
主权项 |
一种批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置,其特征在于:包括执行部分和控制部分;所述执行部分包括振动台延伸头(1)、底盘(2)、回转夹紧气缸(3);所述控制部分包括压力传感器(4)、模数转换器(5)、PLC(6)、上位机(7)、电磁换向阀(8)、调压阀(9)、气源(10);其中,振动台延伸头(1)为筒状结构;振动台延伸头(1)的上端封闭、下端设有敞口;底盘(2)盖封于振动台延伸头(1)的下端敞口上;回转夹紧气缸(3)的数目为若干个;各个回转夹紧气缸(3)的缸筒均安装于底盘(2)的上盘面;各个回转夹紧气缸(3)的活塞杆均活动贯穿振动台延伸头(1)的上端壁;各个回转夹紧气缸(3)的夹紧臂均与振动台延伸头(1)的上外端壁平行;压力传感器(4)的数目与回转夹紧气缸(3)的数目相等;各个压力传感器(4)一一对应安装于各个回转夹紧气缸(3)的夹紧臂的头部下侧面;模数转换器(5)的信号输入端分别与各个压力传感器(4)的信号输出端连接;PLC(6)的信号输入端与模数转换器(5)的信号输出端连接;上位机(7)与PLC(6)双向连接;电磁换向阀(8)的信号输入端与PLC(6)的信号输出端连接;电磁换向阀(8)的第一个出气口分别与各个回转夹紧气缸(3)的第一个进气口连通;电磁换向阀(8)的第二个出气口分别与各个回转夹紧气缸(3)的第二个进气口连通;调压阀(9)的出气口与电磁换向阀(8)的进气口连通;气源(10)与调压阀(9)的进气口连通。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区07栋201室 |