发明名称 |
一种调节装置及等离子体加工设备 |
摘要 |
本发明提供一种调节装置及等离子体加工设备,该调节装置用于调节第一部件和第二部件的相对位置,其包括第一调节组件和第二调节组件,第一调节组件包括调节块,调节块的一端与第一部件固定连接,调节块的另一端设有第一螺纹;第二调节组件包括固定部件和调节单元,固定部件与第二部件固定连接;调节单元由固定部件支撑并可相对于固定部件旋转,在调节单元上设有与第一螺纹相互啮合的第二螺纹;旋转调节单元可使调节块相对于第二部件的位置发生变化,从而使第一部件和第二部件的相对位置发生变化。该调节装置的调节精度高,调节范围大,而且易于操作。 |
申请公布号 |
CN103770126B |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201210394979.6 |
申请日期 |
2012.10.17 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
张鹏 |
分类号 |
B25J19/00(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
B25J19/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
彭瑞欣;张天舒 |
主权项 |
一种旋转轴调节装置,用于调节第一部件和第二部件的相对位置,其特征在于,所述旋转轴位于所述第一部件内,所述旋转轴调节装置包括第一调节组件和第二调节组件,所述第一调节组件包括调节块,所述调节块的一端与所述第一部件内部的所述旋转轴固定连接,所述调节块的另一端设有第一螺纹;所述第二调节组件包括固定部件和调节单元,所述固定部件与所述第二部件固定连接;所述调节单元由所述固定部件支撑并可相对于所述固定部件旋转,在所述调节单元上设有与所述第一螺纹相互啮合的第二螺纹;旋转所述调节单元可使所述调节块相对于所述第二部件的位置发生变化,从而使所述第一部件和所述第二部件的相对位置发生变化。 |
地址 |
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |