一种超声波辅助剥离石墨烯的方法

摘要

本发明属于半导体材料制造技术领域，提供了一种超声波辅助剥离石墨烯的方法，将高定向热解石墨（HOPG）用双面胶带固定在上下两个基片之间；将固定的高定向热解石墨（HOPG）放入超声波发生器，浸于去离子水中，调节超声波的功率0.1~2×10⁵J、时间1~50min、温度10~40℃；启动超声波发生器，进行横向振动；将高定向热解石墨（HOPG）与上基片分离，并用双面胶带固定在新的上基片之下；重复以上过程5~10次，直至得到石墨烯；用分析纯的丙酮去除石墨烯表面残余胶带成分，该方法利用超声波破坏石墨层之间的键以剥离出石墨烯，均匀性好、效率高，避免了手工剥离法胶带残胶的影响，具有较强的推广与应用价值。

主权项

一种超声波辅助剥离石墨烯的方法，其特征在于，该方法将高定向热解石墨固定在上下两个基片之间，利用超声波对高定向热解石墨进行横向振动，使石墨层间通过范德瓦尔斯力形成的键断裂，分离出石墨烯；该方法通过调节超声波的功率、振动时间及温度提高石墨烯的剥离效率和产品质量；该方法的具体实现步骤为：步骤一，将高定向热解石墨(HOPG)用双面胶带固定在上下两个基片之间；步骤二，将固定的高定向热解石墨(HOPG)放入超声波发生器，浸于去离子水中；步骤三，启动超声波发生器，进行横向振动；步骤四，将高定向热解石墨(HOPG)与上基片分离，并用双面胶带固定在新的上基片之下；步骤五，重复以上过程5～10次，直至得到石墨烯；步骤六，用分析纯的丙酮去除石墨烯表面残余胶带成分；在步骤二中，将固定的高定向热解石墨(HOPG)放入超声波发生器，浸于去离子水中时，调节超声波的功率0.1～2×105J、时间1～50min、温度10～40℃。