一种电子级氯气的分析装置和方法

摘要

本发明提供了一种电子级氯气的分析装置和方法。所述的电子级氯气的分析装置，其特征在于，包括第一预分离柱、第一分析柱、第二预分离柱、第二分析柱、第一十通阀、第二十通阀、第一定量环、第二定量环和脉冲放电离子化检测器。本发明利用色谱柱分离系统使氯气中的痕量杂质得以分离；由脉冲放电离子化检测器对痕量杂质进行检测，检测限可低至10ppb。此外，本方法分析电子级氯气中的痕量杂质准确度高，分析时间短，消耗样品少，灵敏度高。

主权项

一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，包括第一预分离柱(3)、第一分析柱(4)、第二预分离柱(5)、第二分析柱(6)、第一十通阀(7)、第二十通阀(8)、第一定量环(9)、第二定量环(10)和脉冲放电离子化检测器(12)，在初始状态时，第一十通阀(5)的1号口与2号口连通，3号口与4号口连通，5号口与6号口连通，7号口与8号口连通，9号口与10号口连通，第二十通阀(6)的1号口与2号口连通，3号口与4号口连通，5号口与6号口连通，7号口与8号口连通，9号口与10号口连通，在检测状态时，第一十通阀(5)的1号口与10号口连通，2号口与3号口连通，4号口与5号口连通，6号口与7号口连通，8号口与9号口连通，第二十通阀(6)的1号口与10号口连通，2号口与3号口连通，4号口与5号口连通，6号口与7号口连通，8号口与9号口连通；第一十通阀(7)的1号口和第二十通阀(8)的1号口分别连接第一分析柱(4)的进口和第二分析柱(6)的进口，第一分析柱(4)的出口和第二分析柱(6)的出口连接脉冲放电离子化检测器的进口，第一十通阀(7)的10号口和第二十通阀(8)的10号口分别连接第一预分离柱(3)的进口和第二预分离柱(5)的进口，第一预分离柱(3)的出口和第二预分离柱(5)的出口分别连接第一十通阀(7)的4号口和第二十通阀(8)的4号口，第一十通阀(7)的3号口和第二十通阀(8)的3号口连接反吹排放管路，第二十通阀(8)的7号口连接取样管路，第二十通阀(8)的6号口连接第一十通阀(7)的7号口，第一定量环(9)的两端分别连接第一十通阀(7)的5号口和8号口，第二定量环(10)的两端分别连接第二十通阀(10)的5号口和8号口。