发明名称 |
一种双栅TFT阵列基板及其制造方法和显示装置 |
摘要 |
本发明公开了一种双栅TFT阵列基板及其制造方法和显示装置,其中,制造方法包括:通过一次构图工艺形成公共电极和顶栅。本发明提供的双栅TFT阵列基板及其制造方法,通过一次构图工艺形成公共电极和顶栅,与传统的先制作公共电极,再制作顶栅的工艺过程相比,减少了构图工艺的次数,简化了工艺流程。同时,本发明中通过还原方法得到的双栅TFT阵列基板中的顶栅与底栅具有相近的电阻,保证了整个阵列基板的稳定性。 |
申请公布号 |
CN105514120A |
申请公布日期 |
2016.04.20 |
申请号 |
CN201610040520.4 |
申请日期 |
2016.01.21 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
牛菁;春晓改 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李相雨 |
主权项 |
一种双栅TFT阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:通过一次构图工艺形成公共电极和顶栅。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |