一种微型电场传感器结构

摘要

本发明公开了一种微型电场传感器结构，包括：可动感应电极阵列和固定感应电极阵列，可动感应电极阵列可周期性往复运动，包括至少一个可动感应电极单元，可动感应电极单元包括正极性可动感应电极和负极性可动感应电极，二者通过绝缘结构连接；固定感应电极阵列包括至少一个固定感应电极单元，固定感应电极单元包括正极性固定感应电极和负极性固定感应电极。可动感应电极单元与固定感应电极单元分别外接电路实现电位钳制，当可动感应电极周期性往复运动时，产生与电场强度相关的电信号，实现电场强度测量。这种传感器结构能够避免直接接地结构的电场浪费问题，获得更大的电场感应面积，在相同检测周期内能够产生更多的感应电荷，提高测量的分辨率。

主权项

一种微型电场传感器结构，包括周期性地往复运动的可动感应电极阵列和固定不动的固定感应电极阵列，其特征在于：可动感应电极阵列包括至少一个可动感应电极单元，通过弹性结构支撑在衬底表面，所述可动感应电极单元包括一个正极性电极和一个负极性电极组成的电极对，分别为正极性可动感应电极和负极性可动感应电极；固定感应电极阵列包括至少一个固定感应电极单元，通过支撑点固定在衬底表面，所述固定感应电极单元包括一个正极性电极和一个负极性电极组成的电极对，分别为正极性固定感应电极和负极性固定感应电极。