| 发明名称 | MEMS设备以及工艺 | ||
| 摘要 | 本申请描述对(MEMS)换能器(100)的改进，所述MEMS换能器具有一个柔性膜(301)，该柔性膜(301)带有膜电极(302)，尤其其中该膜是晶体或多晶且该膜电极是金属或金属合金。这样的换能器典型地可以包括一个具有被耦合至一个背板电极(303)的至少一个背板层(304)的背板，其中该背板电极中的多个孔(314)对应于穿过该背板的多个背板孔(312)。在本发明的实施方案中，该膜电极具有在该膜电极中的至少一个开口(313)，其中所述开口的区域的至少一部分在垂直于该膜的方向上对应于至少一个背板孔的区域，并且在该膜电极中的所述开口处该柔性膜中没有孔。可以有多个这样的开口。所述开口有效地允许减少膜电极材料(例如，金属)的量，该膜电极材料可以经历塑性变形且使该膜永久变形。所述开口至少部分地与背板孔对准以减少任何电容损失。 | ||
| 申请公布号 | CN105519137A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201480049062.X | 申请日期 | 2014.06.30 |
| 申请人 | 思睿逻辑国际半导体有限公司 | 发明人 | C·R·詹金斯;T·胡克斯特拉;S·卡吉尔 |
| 分类号 | H04R19/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;H04R7/10(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人 | 郑建晖;李洁 |
| 主权项 | 一种微机电系统(MEMS)换能器，包括：一个柔性膜；一个膜电极，被耦合至所述柔性膜；一个背板，包括耦合至一个背板电极的至少一个背板层，具有与穿过该背板的多个背板孔相对应的在该背板电极中的多个孔；其中所述膜电极包括在该膜电极中的至少一个开口，其中所述开口的区域的至少一部分在垂直于该膜的方向上对应于至少一个背板孔的区域，并且在该膜电极中的所述开口处该柔性膜中没有孔。 | ||
| 地址 | 英国爱丁堡 | ||