发明名称 一种醋酸盐体系两步法制备铜铟硒光电薄膜的方法
摘要 一种醋酸盐体系两步法制备铜铟硒光电薄膜的方法,属于太阳能电池用光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗二氧化锡导电玻璃基片,然后将C<sub>6</sub>H<sub>5</sub>Na<sub>3</sub>O<sub>7</sub>·2H<sub>2</sub>O、Cu(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>·H<sub>2</sub>O、In(CH<sub>3</sub>COO)<sub>3</sub>、SeO<sub>2</sub>放入蒸馏水中,用电沉积法在导电玻璃片上得到前驱体薄膜,自然干燥,放入加有水合联氨的管式炉中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,其中水合联氨中加有硒粉,在密闭管式炉内加热,使前驱体薄膜硒化,最后取出样品进行干燥,得到铜铟硒光电薄膜。本发明不需要高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜铟硒光电薄膜有较好的连续性和均匀性,主相为CuInSe<sub>2</sub>相,可以实现低成本大规模的工业化生产。
申请公布号 CN105514191A 申请公布日期 2016.04.20
申请号 CN201510943201.X 申请日期 2015.12.16
申请人 山东建筑大学 发明人 李静;刘科高;许超;徐勇;石磊
分类号 H01L31/032(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/032(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种醋酸盐体系两步法制备铜铟硒光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:a.二氧化锡导电玻璃基片的清洗;b.将1.0~2.0份C<sub>6</sub>H<sub>5</sub>Na<sub>3</sub>O<sub>7</sub>·2H<sub>2</sub>O、5.0~10.0份Cu(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>·H<sub>2</sub>O、7.5~15.0份In(CH<sub>3</sub>COO)<sub>3</sub>、6.0~12.0份SeO<sub>2</sub>放入2700.0~5400.0份的蒸馏水中,使溶液中的物质溶解;c.采用电沉积法将步骤b所述溶液在导电玻璃片上沉积得到前驱体薄膜,自然干燥,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,在水合联氨中加入硒粉,前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,将前驱体薄膜和水合联氨放入管式炉中;将管式炉加热至250~400℃之间,保温时间3~9h,然后冷却到室温取出;e.将步骤d所得物,自然干燥,得到铜铟硒光电薄膜。
地址 250101 山东省济南市临港开发区凤鸣路