无接触式电容间距传感器

摘要

本发明涉及用于简单地并且可靠地、电容式地、无接触地并且非破坏性地检查在衬底（1）上或中或浮动地在衬底（1）中产生的导电结构（3）的设备和方法。根据本发明使用具有至少两个传感器电极面（9）的电容传感器（11），这些传感器电极面以彼此不同的、恒定的间距平行于衬底（1）的表面并且相对于衬底（1）的表面并排地被布置。

主权项

用于电容式地、无接触地并且非破坏性地检查多个在衬底（1）上或中产生的导电结构（3）的设备，具有：－定位所述衬底（1）的导电的衬底支架（5），借助激励信号产生装置（7）所产生的激励信号被施加到所述衬底支架上；－被定位在衬底（1）的背离所述衬底支架（5）的侧上的、具有至少两个以彼此不同的、恒定的间距平行于所述衬底（1）的表面并且相对于所述衬底（1）的表面并排地被布置的传感器电极面（9）的电容传感器（11）；－用于检测相应传感器电极面（9）处的相应传感器测量信号的测量装置（12）；－用于借助所检测的传感器测量信号来确定导电结构（3）的空间延伸的分析装置（13）。