一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置及检测方法。X射线源位于所述装置的最底端，用于向上发射锥束X射线；载物台设置在所述X射线源的上方，在空间三维方向上作平移运动；载物台的正上方设置有所述固定架，固定架与所述转臂相连，使所述转臂做圆周旋转运动；所述转臂上设置有导轨，平板探测器位于该导轨上，利用该导轨在所述转臂上滑动；且平板探测器结合其在转臂上的滑动以及转臂的圆周旋转运动，定位于所形成半球面的任意位置。该扫描装置灵活多变，能够在多种扫描倾角、360度旋转角、以及多种放大比条件下对板状构件样品进行断层成像，并最大限度的简化系统的机械运动复杂度，提高系统性能。

主权项

一种基于计算机分层扫描成像CL系统的扫描装置，其特征在于，所述扫描装置包括X射线源，载物台，平板探测器，转臂，固定架，其中：所述X射线源位于所述装置的最底端，用于向上发射锥束X射线；所述载物台设置在所述X射线源的上方，在空间三维方向上作平移运动；所述载物台的正上方设置有所述固定架，所述固定架与所述转臂相连，用于固定所述转臂，并使所述转臂做圆周旋转运动，形成围绕所述载物台的半球面；所述转臂上设置有导轨，所述平板探测器位于该导轨上，利用该导轨在所述转臂上滑动；且所述平板探测器结合其在所述转臂上的滑动以及所述转臂的圆周旋转运动，定位于所形成半球面的任意位置。