一种压电悬臂梁传感器结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种压电悬臂梁传感器结构，通过采用柔性材料作为悬臂梁支撑结构，简化了传感器结构和加工工艺，可大幅提高传感器的灵敏度或执行器的变形幅度，以及提高悬臂梁对外部激励的响应和信号输出；本发明还公开了一种压电悬臂梁传感器结构的制造方法，通过采用表面牺牲层工艺和各向同性湿法刻蚀工艺，从正面释放压电微悬臂梁结构，工艺简单可控，可提高压电悬臂梁传感器制造工艺与硅集成电路工艺的兼容性，避免产生污染问题。

主权项

一种压电悬臂梁传感器结构，其特征在于，自下而上依次包括：硅片衬底、柔性支撑层、下电极、压电薄膜、上电极，所述衬底具有面向柔性支撑层的沟槽，所述柔性支撑层一端搭设于沟槽外的衬底表面，其余部分悬设于沟槽上方，与其上方下电极、压电薄膜、上电极一起构成悬臂。