| 发明名称 | 蚀刻装置及蚀刻方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种蚀刻装置及蚀刻方法。本发明的蚀刻装置包含：堆载部，其在内部形成空间，供显示器基板插入；夹紧部，其夹紧所述显示器基板的上表面；及蚀刻液喷射部，其以远离所述堆载部的方式配置，向所述显示器基板喷射蚀刻液。本发明可在进行蚀刻时防止显示器基板的破损，实现均匀的蚀刻。 | ||
| 申请公布号 | CN105513997A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201510644399.1 | 申请日期 | 2015.10.08 |
| 申请人 | 株式会社MM科技 | 发明人 | 张承逸 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 张洋;臧建明 |
| 主权项 | 一种蚀刻装置，其特征在于包含：堆载部，其在内部形成空间供显示器基板插入；夹紧部，其夹紧所述显示器基板的上表面；以及蚀刻液喷射部，其以远离所述堆载部的方式配置，所述蚀刻液喷射部向所述显示器基板喷射蚀刻液。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道始兴市工团1大路195番街35 | ||