基于MEMS间接式微波功率传感器的锁相混频器及制备方法

摘要

本发明公开了基于MEMS间接式微波功率传感器的锁相混频器，包括衬底(1)、设置在衬底(1)上的功合器和MEMS间接式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器、混频器和中频放大器电路，在衬底(1)上定义一条对称轴线；所述功合器形成沿对称轴线对称的结构，包括地线(2)、共面波导传输线(3)、两段不对称共面带线(4)、隔离电阻(5)、两组固支梁(12)和锚区(13)；所述MEMS间接式微波功率传感器包括两组终端电阻(6)、金属热偶臂(7)、半导体热偶臂(8)、金属连接线(9)和两个直流输出块(10)。本发明具有结构新颖，电路尺寸小的优点，而且具有较高的精度。

主权项

基于MEMS间接式微波功率传感器的锁相混频器，其特征在于：包括衬底(1)、设置在衬底(1)上的功合器和MEMS间接式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器、混频器和中频放大器电路，在衬底(1)上定义一条对称轴线；所述功合器形成沿对称轴线对称的结构，包括地线(2)、共面波导传输线(3)、两段不对称共面带线(4)、隔离电阻(5)、两组固支梁(12)和锚区(13)；所述MEMS间接式微波功率传感器包括两组终端电阻(6)、金属热偶臂(7)、半导体热偶臂(8)、金属连接线(9)和两个直流输出块(10)。