一种石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟，包括多个交错分布的石墨舟片，多个交错分布的石墨舟片通过多个石墨杆串接后且每个石墨杆的两端通过石墨螺母紧固，串接在石墨舟片顶端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有下部陶瓷管，串接在石墨舟片两端部的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有导电块；其中，上部陶瓷管的长度为10.7-10.9mm，下部陶瓷管的长度为10.9-11.1mm。本实用新型上部陶瓷管长度小，下部陶瓷管长度大，石墨舟片间的间距处于上小下大的格局，弥补了硅片厚薄不均的缺陷，使硅片镀膜时沉积速率一致，减少单边发红造成的色差，提高镀膜的均匀性。

主权项

一种石墨舟，包括多个交错分布的石墨舟片，多个交错分布的石墨舟片通过多个石墨杆串接后且每个石墨杆的两端通过石墨螺母紧固，串接在石墨舟片顶端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有下部陶瓷管，串接在石墨舟片两端部的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有导电块，其特征在于：所述的上部陶瓷管的长度为10.7—10.9mm，所述的下部陶瓷管的长度为10.9—11.1mm。