发明名称 一种宽带的中红外调制器
摘要 本实用新型涉一种宽带的中红外调制器,所述中红外调制器为多层结构,中红外调制器以二氧化钒为温控相变材料;所述中红外调制器的多层结构的最下层为金,最上层为二氧化硅,二氧化钒层位于中红外调制器的中部,二氧化钒层的上侧设有钛金属层。其中,优选的结构为,中红外调制器的多层结构从下至上依次为金、二氧化硅、二氧化钒、钛金属、二氧化硅。本实用新型的宽带的中红外调制器,该中红外调制器的带宽达到中心波长的94%;该中红外调制器的结构为层状结构,制作简单、成本低,层状薄膜结构无需图案化印刷技术,因此可简化制作工艺、降低成本。
申请公布号 CN205176417U 申请公布日期 2016.04.20
申请号 CN201520779022.2 申请日期 2015.10.09
申请人 电子科技大学 发明人 刘志军;彭昊;蒋亚东
分类号 G02F1/01(2006.01)I 主分类号 G02F1/01(2006.01)I
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人 裴娜
主权项 一种宽带的中红外调制器,其特征在于,所述中红外调制器为多层结构,中红外调制器以二氧化钒为温控相变材料;所述中红外调制器的多层结构的最下层为金,最上层为二氧化硅,二氧化钒层位于中红外调制器的中部,二氧化钒层的上侧设有钛金属层。
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