一种石英舟

摘要

本实用新型提出了一种石英舟，解决了现有技术中运输装置结构不合理，影响晶片氧化扩散的均匀性和一致性的问题；包括用于与外部连接的支撑装置；用于放置晶片的若干第一槽棒，设置在支撑装置上；支撑架体，活动设置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直线运动；若干第二槽棒，分别设置在支撑架体两侧，且若干第二槽棒与若干第一槽棒平行设置，本实用新型提出的石英舟能够使得第一槽棒和第二槽棒之间的晶片设置方向及角度均相同，由此能够更为均匀的进行氧化扩散。

主权项

一种石英舟，其特征在于，包括：用于与外部连接的支撑装置(1)；用于放置晶片的若干第一槽棒(2)，设置在所述支撑装置(1)上；支撑架体(3)，活动设置在若干所述第一槽棒(2)上，并可在若干所述第一槽棒(2)上做直线运动；若干第二槽棒，分别设置在所述支撑架体(3)两侧，且若干所述第二槽棒与若干所述第一槽棒(2)平行设置。