| 发明名称 | 一种无氧镀制咖啡色PVD膜的方法 | ||
| 摘要 | 一种无氧镀制咖啡色PVD膜的方法，采用多弧离子镀膜技术，并采用TiAl合金作弧靶，使钛离子和铝离子均匀的充盈于真空炉内，与氮结合而生成稳定的咖啡色薄膜，过程中没有使用C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>或C中的碳元素调色，因此镀膜颜色均匀稳定；另一方面，镀膜过程中没有O<sub>2</sub>，可以避免镀膜设备氧化的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105506562A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201610041145.5 | 申请日期 | 2016.01.22 |
| 申请人 | 东莞沙头朝日五金电子制品有限公司 | 发明人 | 黎剑文 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种无氧镀制咖啡色PVD膜的方法，其特征是：包括如下步骤：1）预处理：将工件表面洗净，脱去氧化膜，放入真空炉内，抽真空，升温；2）生成基础膜层：启动Cr弧靶，在工件表面沉积Cr基础薄膜；3）生成过渡膜层：持续开启Cr弧靶，注入N<sub>2</sub>使工件表面沉积CrN薄膜；4）生成咖啡色膜层：关闭Cr弧靶，启动Ti/Al原子比为75∶25至85∶15的TiAl弧靶，并同时注入N<sub>2</sub>，加载偏压，直至工件表面沉积咖啡色TiAlN薄膜。 | ||
| 地址 | 523000 广东省东莞市长安镇沙头社区新沙工业区裕成路6号 | ||