| 发明名称 | MEMS中的弹簧结构、麦克风器件及加速度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种MEMS中的弹簧结构，包括：从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开；第一臂和第二臂的旋出端具有连接端，分别接固定部件和活动部件。该结构采用了螺旋结构，使得弹簧在牵引方向外的其他各方向也具有较好的弹性，使得弹簧结构具有更好的力学特性，避免弹簧断裂而造成的器件失效的发生。 | ||
| 申请公布号 | CN105502274A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201510824510.5 | 申请日期 | 2015.11.24 |
| 申请人 | 宋月琴 | 发明人 | 宋月琴 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;G01P15/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人 | 马敬;项京 |
| 主权项 | 一种MEMS中的弹簧结构，其特征在于，包括：从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开；第一臂和第二臂的旋出端具有连接端，分别接固定部件和活动部件。 | ||
| 地址 | 100022 北京市朝阳区劲松三区307号楼5门9号 | ||