热式流量传感器

摘要

本发明为了提供一种提高计测精度的热式流量传感器，采用以下构成：该热式流量传感器具有：空气流量检测元件，该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜；以及修正电路部，其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻，且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少形成有检测一个个温度的测温电阻，该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号，其中，所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。

主权项

一种热式流量传感器，具有：空气流量检测元件，该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜；以及修正电路部，其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻，且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少各形成有一个检测温度的测温电阻，该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号，所述热式流量传感器的特征在于，所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。