一种桌面型扫描电子显微镜

摘要

本实用新型公开了一种桌面型扫描电子显微镜，包括电子枪、物镜、光阑、样品承载台；所述样品承载台上设有样品，所述电子枪发出电子束，电子束穿过所述光阑上的电子束通道扫描所述样品，所述样品扫描后产生反射电子，还包括用于探测所述样品反射电子中背散射电子的背散射电子半导体探测器，所述背散射电子半导体探测器的输出端传输电信号至成像放大系统。本实用新型采用背散射电子半导体探测器的桌面型电子显微镜能够探测背散射电子并传递电信号，然后通过成像放大系统直接对该电信号处理生成图像，无需光电倍增管，减轻了整个仪器的重量，缩小了仪器体积，能够达到桌面型应用，符合普及型扫描电子显微镜的技术指标。

主权项

一种桌面型扫描电子显微镜，包括电子枪、物镜、光阑、样品承载台；所述样品承载台上设有样品，所述电子枪发出电子束，电子束穿过所述光阑上的电子束通道扫描所述样品，所述样品扫描后产生反射电子，其特征在于：还包括用于探测所述样品反射电子中背散射电子的背散射电子半导体探测器，所述背散射电子半导体探测器的输出端传输电信号至成像放大系统。