在线淀积系统和用于淀积薄膜层的过程

摘要

本发明提供一种用于将升华的源材料气相淀积为基板上的薄膜的设备。该设备包括：容器，其配置成保持源材料；分配板，其定位于容器上方。分配板限定穿过它的通路图案。该设备还包括输送器，输送器配置成以连续环路行进使得转移表面在第一方向在分配板上方传递以在其上接收穿过分配板的通路的升华的源材料。输送器也配置成当在凸起边缘上运载基板时在第二方向上行进。在输送器在第二方向上行进以将源材料从转移表面转移到基板时，加热系统加热输送器。提供一种用于气相淀积升华源材料以形成薄膜的过程。

主权项

一种用于将升华的源材料气相淀积为基板上的薄膜的设备，所述设备包括：容器，其配置成用以保持源材料；分配板，其定位于所述容器上方，其中所述分配板限定穿过它的通路的图案；输送器，其限定一对凸起边缘和转移表面，所述凸起边缘定位于所述转移表面的横向方向的两侧上，其中所述输送器配置成以连续环路行进使得所述转移表面在第一方向在所述分配板上方传递以在其上接收穿过所述分配板的通路的升华的源材料，并且其中当在所述凸起边缘上运载所述基板时，所述输送器配置成在第二方向上行进；以及加热系统，其配置成在所述输送器在所述第二方向上行进时加热所述输送器。